温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，需要使用多个真空泵进行抽真空处理，多个真空泵通过管道连接的抽真空气路会产生强烈震动，导致真空泵连接的管道与真空泵之间松动而使得腔体抽真空需要花费时间的变长，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅...
该专利属于苏州锐世讯光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐世讯光学科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。