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本发明涉及在线检测技术领域，具体而言，涉及一种光学镜头对位机构。光学镜头对位机构包括三维线性对位结构和双轴角度对位结构；所述双轴角度对位结构设置在所述三维线性对位结构上。本发明通过三维线性对位结构实现对光学镜头的线性调整，通过双轴角度对位结...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。