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柔性传感器及其制备方法技术
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文档序号:27112084
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本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法,柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板,第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性,第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列,第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列,第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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