下载一种用于真空容器充气抽气的系统的技术资料

文档序号:27106571

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本发明属于流体力学领域。一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:包含第一流速控制模块(T1)、第二流速控制模块(T2)、抽气泵(B1)、充气泵(B2)、第一阀(N1)、第二阀(N2)、气源、气道接口(JK)、压力表(YLB)、总控模块。...
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