下载掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法的技术资料

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本发明提供了一种掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法,掺氮P型硅母合金的制备方法包括如下步骤:投料,将硅料及氮化硼投入铸锭炉内;多晶铸锭,在铸锭炉内依次通过抽真空、加热、熔化、长晶、退火、冷却步骤生产掺氮P型硅母合金晶锭。将所...
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