下载一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置的技术资料

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本实用新型公开了一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置,涉及加热装置相关领域,为解决现有技术对于半导体真空管道的加热效率低、会造成环境温度上升、使用寿命短以及存在安全隐患的问题。所述加热体包括内筒、海绵和水道,内筒包括内层内筒和外层内筒,...
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