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本实用新型提供了一种用于化学气相沉积处理的加热装置，包括：壳体，包围限定出腔室；加热组件，设于腔室中，并包括多个导热部和多个加热部；其中，至少两个的导热部相互分体设置，任一导热部与任意至少一个的加热部相配合，加热部生发热量，导热部将来自加热...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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