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本实用新型涉及半导体清洗装置技术领域，且公开了一种保持清洁度的半导体新材料清洁装置，包括一号隔音板，所述一号隔音板的顶部固定连接有电机，所述电机的顶部固定连接有轴套，所述轴套的内部活动连接有顶杆，所述轴套的内部活动连接有旋转轴，所述旋转轴的...
该专利属于江西全道半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西全道半导体科技有限公司授权不得商用。

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