下载一种半导体晶片磨边装置的技术资料

文档序号:27050287

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本发明公开了一种半导体晶片磨边装置,涉及半导体晶片加工技术领域,包括固定机构、旋转机构、压合机构、限位架、推进机构、移动机构和打磨机构,所述旋转机构设置在固定机构内的底端,所述压合机构设置在固定机构内的顶端,所述旋转机构和压合机构上下对应,...
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