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面发光激光器及其制造方法技术
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文档序号:26894025
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本发明涉及面发光激光器及其制造方法,一种面发光激光器,具备:基板;半导体层,设置在所述基板上,包括下部反射镜层、活性层及上部反射镜层,形成台面;第一绝缘膜,将所述台面覆盖;及第二绝缘膜,将所述第一绝缘膜覆盖,所述台面在所述基板扩展的方向上具...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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