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采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置制造方法及图纸
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下载采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置的技术资料
文档序号:26887653
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本发明属于高真空设备动密封技术领域,具体涉及一种采用可控气体保护高真空动密封的方法与装置。本发明提出一种采用可控气体保护高真空动密封的装置,包括控压保护装置;所述控压保护装置包括弹性件和气体压力控制装置;所述弹性件内设有腔室;所述压力控制器...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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