下载环境微粒侦测装置及微粒捕捉器的技术资料

文档序号:26816928

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本实用新型公开一种环境微粒侦测装置及微粒捕捉器,所述环境微粒侦测装置适用于存在多个微粒的一无尘室中,并且所述无尘室内所生产的一产品,其具有可沾附所述微粒的一沾附层。所述环境微粒捕捉装置包括多个微粒捕捉器,并且每个微粒捕捉器包含一载体及形成于...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。

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