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光纤端面微细加工方法属于微细加工技术领域。本发明具体方法如下：（１）在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；（２）将光纤端面前烘；（３）导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；（４）以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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