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批量制造光滤波器元件的方法和元件晶圆技术
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文档序号:2674313
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本发明涉及可调的波长选择光滤波器,该光滤波器允许其中心在一个可调的波长附近的窄光谱带通过,并阻止处于该光谱带外的波长。更具体地,本发明涉及一种批量制作光滤波元件(1)的方法,包括在一个透光衬底(2)上制作多个光滤波元件(1)。本发明还包括用...
该专利属于ATMEL格勒诺布尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过ATMEL格勒诺布尔公司授权不得商用。
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