下载真空腔室和舱门结构的技术资料

文档序号:26725671

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本发明公开了一种舱门结构,包括设置在顶盖上的加样孔和盖装在所述加样孔外侧的舱门,舱门上设有凸起,凸起在舱门盖装在加样孔上时向内延伸伸入所述加样孔,所述凸起的内侧侧面与所述顶盖的内侧侧面之间的间距小于加样靶板的厚度。本发明的舱门结构,通过将凸...
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