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摆动式卡盘的密封结构和摆动式卡盘制造技术
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文档序号:26694851
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在爪开闭构件与支承构件之间设置有密封部。密封部包括第一抵接部和第二抵接部,上述第一抵接部与爪开闭构件抵接,上述第二抵接部在与上述第一抵接部不同的位置处与爪开闭构件抵接。...
该专利属于丰和工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丰和工业株式会社授权不得商用。
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