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先前所使用的检查装置和方法通常使用已反射的可见光或ＵＶ光来操作以分析（例如）晶片（３８）的微结构样品。本发明的目的在于增加所述装置的可能的用途，即，尤其是为了表示例如可在两侧上均结构化的晶片的结构细节，所述结构细节在ＶＩＳ或ＵＶ中是不可见的...
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