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一种空间光调制器，包括镜板，该镜板包括反射上表面，具有导电表面部分的下表面，和具有第一空腔、第二空腔以及在第二空腔上的膜的基板部分，该第一空腔在下表面上具有开口，该第二空腔在基板部分中。该调制器包括基板，该基板包括上表面，与上表面连接的枢纽...
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