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可集成多信道色散补偿器制造技术
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下载可集成多信道色散补偿器的技术资料
文档序号:2666653
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本发明一种可集成多信道色散补偿器,其特征在于,包括:一衬底;一第一纳米线波导,该第一纳米线波导制作在衬底上;一第二纳米线波导,该第二纳米线波导制作在衬底上;一第一光栅,该第一光栅制作在第一纳米线波导上,光信号被第一光栅耦合出第一纳米线波导;...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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