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包含基于SOI的光学部件的多个集成电路的垂直堆叠制造技术
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下载包含基于SOI的光学部件的多个集成电路的垂直堆叠的技术资料
文档序号:2666162
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垂直堆叠的集成电路包括至少一个CMOS电子集成电路(IC)、基于SOI的光电子集成电路结构和光输入/输出耦合部件。多个金属化通路可穿过堆叠的厚度而形成,以便电气连接可在各个集成电路之间实现。能使用不同类型的光输入/输出耦合,如棱镜耦合、光栅...
该专利属于斯欧普迪克尔股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯欧普迪克尔股份有限公司授权不得商用。
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