下载一种微机电摆动激光扫描装置及其组装方法的技术资料

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本发明为一种微机电摆动激光扫描装置及其组装方法,其包含一微机电光学控制模块、一前级扫描组、一后级扫描组与一外壳,微机电光学控制模块是包含一激光光源与一微机电摆动式反射镜,激光光源与微机电摆动式反射镜安排在目标面的对面侧的同一侧,前级扫描组的...
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