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本发明提供一种用于炉管设备的工艺方法及设备，所述方法包括：将产品晶圆和挡片晶圆放置在所述炉管设备的晶舟内相应位置；对所述产品晶圆和所述挡片晶圆进行工艺处理；在当前工艺完成之后，检测所述产品晶圆的表面质量参数；判断所述表面质量参数是否超出预设...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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