下载一种AR衍射光波导压印模具的制备方法及软模具和应用的技术资料

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本发明涉及一种AR衍射光波导压印模具的制备方法及软模具和应用。具体步骤为:采用双光子聚合微纳3D打印机在镍基底上打印电铸掩模;利用纳秒脉冲微细电铸,对得到的带有掩模的镍基板进行电铸,得到倾斜光栅金属镍模具;以制造的倾斜光栅金属镍模具作为母模...
该专利属于青岛理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛理工大学授权不得商用。

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