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本发明提出一种版图边界图案的修正方法与修正系统，包括：预设一版图参数，其中，所述版图参数包括图案尺寸的模拟目标值；进行划分步骤，将版图划分成多个子版图；对任一所述子版图的边界图案进行修正，并记录修正次数，以获得所述图案尺寸的模拟实际值；判断...
该专利属于南京晶驱集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶驱集成电路有限公司授权不得商用。

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