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本发明涉及一种用于光学测量基板上的不透明层的厚度的装置，所述装置包括用于光学距离测量的第一机构和用于光学距离测量的第二机构，所述第一机构设计用于测量第一基准平面和不透明层的第一表面之间的第一间距，所述第二机构设计用于测量第二基准平面和不透明...
该专利属于普莱斯泰克光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普莱斯泰克光电子有限公司授权不得商用。

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