下载一种提高石墨舟使用寿命的方法的技术资料

文档序号:26473480

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本申请公开了一种提高石墨舟使用寿命的方法,包括获取两端开设电极孔的石墨舟;在所述石墨舟中放置镀膜对象;将所述石墨舟的两端交替朝向炉尾放入镀膜设备中,对所述镀膜对象进行镀膜,因此就不会存在石墨舟一端沉积的膜层比另一端厚的问题了,而是两端基本具...
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