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本发明涉及一种色金属超真空熔炼设备技术领域，具体为一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，包括超真空抽气及真空控制单元、设于所述超真空抽气及真空控制单元底部的氧化铍陶瓷坩埚蒸馏单元和加温装置及温控单元；所述超真空抽气单元包括原料贮罐、真空给料模块、成...
该专利属于周兴明所有，仅供学习研究参考，未经过周兴明授权不得商用。

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