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一种载物台组件及激光热处理装置制造方法及图纸
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下载一种载物台组件及激光热处理装置的技术资料
文档序号:26382061
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本发明提供了一种载物台组件及激光热处理装置,该载物台组件包括一个用于固定工件的载物台,且载物台内嵌设有用于将载物台上的工件加热至设定温度的加热组件。还包括包裹在载物台外围及载物台背离工件一侧的保温隔热层、以及设置在保温隔热层外围及保温隔热层...
该专利属于北京中科镭特电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科镭特电子有限公司授权不得商用。
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