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一种纳米悬臂梁阵列及其制备方法、谐振式阵列气体传感器，该纳米悬臂梁阵列包括衬底和悬臂梁阵列，悬臂梁阵列的每个悬臂梁均包括：支撑层，设置在衬底上，与衬底接触的一端形成U型悬臂梁支撑臂，支撑层远离U型悬臂梁支撑臂的一端悬空设置在衬底上；金属导电...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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