下载一种周期性的折射率分层渐变的纳米结构LED的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种周期性的折射率分层渐变的纳米结构LED的制备方法。该新型纳米结构LED的制备方法是:先在LED的出光面透明电极层制备单层密排的纳米球阵列;接着利用刻蚀的方法使得纳米球尺寸变小;接着利用倾斜的方法沉积ITO透明材料;最后高温加...
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