下载多晶粒针测装置的技术资料

文档序号:2633982

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本发明的多晶粒针测装置,包含一具有一矩形开口的平台、两平行设置于该矩形开口的两侧的滑轨、至少一非圆形悬梁以及至少一架设于该非圆形悬梁上的微调台。该非圆形悬梁较佳地是一矩形悬梁,其两末端是分别借助一第一滑座架设于该滑轨上。该微调台包含一X轴驱...
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