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一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,夹头本体从上往下呈圆柱状结构,底端部位设为锥形结构;所述夹头本体沿轴向中心部位开设有通孔,从上往下依次为重锤安装孔、籽晶安装孔和籽晶定位孔;所述夹头本体沿籽晶安装孔和籽晶定位孔位置开设有贯通外壁的籽晶...该专利属于宁夏中晶半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中晶半导体材料有限公司授权不得商用。
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一种用于CZ法拉制硅单晶的通用夹头装置,夹头本体从上往下呈圆柱状结构,底端部位设为锥形结构;所述夹头本体沿轴向中心部位开设有通孔,从上往下依次为重锤安装孔、籽晶安装孔和籽晶定位孔;所述夹头本体沿籽晶安装孔和籽晶定位孔位置开设有贯通外壁的籽晶...