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本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法，谐振器包括基底；声学镜；底电极；顶电极以及顶电极引出端；和压电层；引脚连接部，与所述底电极在横向方向上间隔开设置，其中：所述压电层包括压电上层和压电下层，所述谐振器还包括设置在压电上层与压电下层之间的...
该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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