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本发明是关于一种半导体测试装置的测试程序生成方法，通过本发明，即使是缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容易地进行测试程序的更改、校正。本发明中，利用通常习惯使用的应用软件之一的表格计算软件的微程序，创建测试程序，...
该专利属于株式会社日立高科技工程服务所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高科技工程服务授权不得商用。

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