温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于执行晶圆级老化的方法和设备。所述方法包含以下步骤：将晶圆（３１０）提供到老化腔室中；和经由无线信号将功率和测试起始信号输出到晶圆（３１０）。所述设备包括测试腔室、位于所述测试腔室中的传送机构、位于所述测试腔室中的温度控制设...
该专利属于桑迪士克股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桑迪士克股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。