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直接键合硅集成微振动陀螺是一种用于精密测量角速率的半导体惯性传感器，它由集成双框架结构的硅片和玻璃电极组成，两者之间采用直接静电键合连接，硅集成双框架结构采用各向异性腐蚀成凹凸形结构，硅集成双框架结构与玻璃电极之间的间隙可根据实际需要决定，...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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