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气体线加速度传感器制造技术
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文档序号:2626461
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本发明气体线加速度传感器属线加速度计领域。该加速度传感器采用气体代替固体敏感质量块,用热敏丝敏感气体自然对流。其敏感元件内热敏丝的排列方式有单丝式、交叉丝式、平行丝式和电热偶式。敏感元件气流腔内的工作气体选作空气或惰性气体。该传感器动态范围...
该专利属于北京信息工程学院所有,仅供学习研究参考,未经过北京信息工程学院授权不得商用。
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