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本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分（２０）的传感器芯片（１００）、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片（２００）、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块（８０）。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路...
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