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一种超小型加速度计，主要包括一个加热器，一个热气泡，热电堆和底部空腔，其特征在于所述在硅衬底上设有加热器，和热电堆，采用塞贝克效应将温差转换为电压信号，加速度信号从每个热电堆的差动电压中获取，由梁分布检验块和压敏电阻组成一个Ｚ轴加速度计信号...
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