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本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩，上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面；上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环；上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹；旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹；旋转支撑座的内...
该专利属于刘永所有，仅供学习研究参考，未经过刘永授权不得商用。

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