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本发明涉及光纤传感器技术领域，公开了一种悬臂梁式光纤光栅加速度计，包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳；用于固定悬臂梁的支撑柱，该支撑柱一端固定连接于悬臂梁，另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面；悬臂梁；安装于悬臂梁上侧两端的...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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