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本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外壳、压电陶瓷管Ⅰ、压电陶瓷管Ⅱ、导电基座和塑胶导线，所述压电陶瓷管Ⅰ为控制ＸＹ方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管Ⅰ的内外表面分别涂有相互对应的４个导电层，分成４组；所述压电陶瓷管Ⅰ通...
该专利属于程传东;胡志强所有，仅供学习研究参考，未经过程传东;胡志强授权不得商用。

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