下载探针固定而样品振荡型无微杆扫描力显微镜镜体的技术资料

文档序号:2619953

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本发明探针固定而样品振荡型无微杆扫描力显微镜镜体涉及扫描探针显微镜,包括探针、样品、振子、定位器,定位器设置于探针与振子之间,探针指向固定于振子上的样品。定位器由XYZ定位压电管及分别设置在其两端的探针座和振子座构成,探针与振子分别固定在探...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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