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一种单晶炉防护底盘，涉及单晶炉部件技术领域，位于单晶炉的底部，包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材与防漏盘可拆卸连接，在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换，节约材料；断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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