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本实用新型公开了一种铌酸锂薄膜光波导结构以及芯片，其中，铌酸锂薄膜光波导结构，包括下包层、薄膜基板和上包层，下包层形成于基底晶片的上方，薄膜基板放置于下包层的上方；还包括下述结构中的一种：第一：薄膜基板的上表面形成有脊形结构，脊形结构为在薄...
该专利属于天津领芯科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津领芯科技发展有限公司授权不得商用。

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