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金刚石-铂薄膜型电极制造技术
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文档序号:2609815
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本实用新型金刚石-铂薄膜型电极,属于通过测试电化学变量测试或分析材料,特别是生物物质用的测试电极,其特征在于避免使用钛或铬过渡层而形成硅衬底--金刚石薄膜--铂薄膜和银薄膜结构。铂工作电极可制成微阵列结构以提高响应电流。衬底硅片也可剥离制成...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。
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