下载一种半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:26069867

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本发明公开了一种半导体结构及其制造方法,其中,所述半导体结构包括:晶圆本体,具有掺杂离子及第一表面与第二表面,所述晶圆本体的第一表面暴露于外部;第一保护层,位于所述晶圆本体的所述第二表面和侧面上;第二保护层,位于所述第一保护层上;其中,所述...
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