下载一种NPN型横向SOI AlGaN/Si HBT器件结构的技术资料

文档序号:26042140

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本实用新型提供一种NPN型横向SOI AlGaN/Si HBT器件结构,包括N型轻掺杂半绝缘单晶硅衬底,N型轻掺杂半绝缘单晶硅衬底表面形成有埋氧层,埋氧层表面从左至右形成有厚度相同而宽度不同的发射区、基区和集电区,发射区和集电区里从下至上淀...
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