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本发明提供一种仿生蝴蝶磷翅微纳结构的制备方法，所述制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底的上表面刻蚀出第一光栅结构；在所述衬底的上表面外延交替生长Al...
该专利属于江西铭德半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西铭德半导体科技有限公司授权不得商用。

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