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本实用新型公开了溅射靶材加工技术领域的一种靶材模压成型模具。包括：模压上模和模压下模。在下模中心位置设有凹槽，形成定位部，凹槽底部根据靶材溅射面形状设计成平面或弧面。上模根据靶材背面环形凹槽设计成环形凸起,边缘平直,保证上模凸起压入靶材背面...
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